非接触式3D轮廓仪

非 接 触 式 光 学 轮 廓 仪 "NanoScan-01"可用于测量镀膜 和未镀膜光学器件以及其他抛光 件表面粗糙度参数，提供具有 埃级重复性精度的测量。

非接 触 式 光 学 轮 廓 仪 - 微 型 干 涉 仪 “NanoScan-01”是根据Linnik的方案制作 的.通过使用Linnik配置，该设备提供了比 较大视场更好的横向分辨率，并具有更大 的工作距离和表面测量保真度。 NanoScan-01光学表面粗糙度测量仪利 用动态干涉技术，结合相移数据采集分析 和高速光学传感器。 内配置特殊软件，可提供广泛的2D和 3D分析选项，数据过滤，掩蔽和导入/导 出功能。 NanoScan-01可以通过安装在机器人手 臂上轻松地定位在大型部件上，从而可以 任意测量站内大型产品和抛光设备上任何 地方的表面参数。