康宁平整度仪/平坦度仪粗糙度仪/表面轮廓弯曲度翘曲度

美国康宁Corning Tropel FM100平坦度仪为精密部件的制造商提供了业界的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据，能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。   

  Tropel FM100平整度仪产品特点：     无接触和无损伤测量    

适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料    

适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂    

适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面    

测量多种不同指标：厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓    

完整的分析系统：三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度    

可以实现自动、快速、准确、稳定的测量     超过15年的工业应用，全球几百台的装机量         

技术参数：     精确度：50nm （2.0μ″）     重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）     分辨率：5nm （0.2μ″）    

可测量工件尺寸：25mm-100mm（更小工件也可提供）    

动态测量范围：>100um    

测量数据点：230,000 / measurement    

测量时间：5秒    

 电源：～220V 50H