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- 公司介绍
磁控溅射多弧离子复合镀膜设备-鼎利镀膜设备
4000.00
库存 999
磁控溅射多弧离子复合镀膜设备-鼎利镀膜设备
用途：
磁控溅射PVD镀膜，氮化钛（TiN）、氮碳化钛（TiCN）、氮化锆（ZrN）、氮化铬（CrN）、氮化铝钛（TiAIN）、碳化钛（TiC）等
基材：不锈钢,锌合金,塑料
应用：手机外壳，MP3外壳，数码相机外壳，各种标牌的装饰改性加硬镀膜
颜色：白色，金色， 银色， 黑色 ， 兰色等
磁控溅射PVD镀膜，氮化钛（TiN）、氮碳化钛（TiCN）、氮化锆（ZrN）、氮化铬（CrN）、氮化铝钛（TiAIN）、碳化钛（TiC）等
基材：不锈钢,锌合金,塑料
应用：手机外壳，MP3外壳，数码相机外壳，各种标牌的装饰改性加硬镀膜
颜色：白色，金色， 银色， 黑色 ， 兰色等
主要特点:
侧面双开门结构, 便于装片和换靶
独特设计预溅射挡板,工艺控制简便,节省时间
独特设计的充气和抽气系统, 有效镀膜区宽
专业脉冲偏压非平衡对靶中频磁控溅射技术,镀膜质量稳定
采用PLC工控机控制, 可实现设备和工艺手动和自动控制, 多重泵阀水电互锁互保护
安装采用全程四极质谱监控和氦质谱检漏, 真空密封性好, 设备工艺稳定可靠
转动采用磁流体引入,长期运转密封可靠
所有零部件采用国内外知名厂家, 电器元件采用进口或合资企业产品, 设备长期运行可靠稳定.
侧面双开门结构, 便于装片和换靶
独特设计预溅射挡板,工艺控制简便,节省时间
独特设计的充气和抽气系统, 有效镀膜区宽
专业脉冲偏压非平衡对靶中频磁控溅射技术,镀膜质量稳定
采用PLC工控机控制, 可实现设备和工艺手动和自动控制, 多重泵阀水电互锁互保护
安装采用全程四极质谱监控和氦质谱检漏, 真空密封性好, 设备工艺稳定可靠
转动采用磁流体引入,长期运转密封可靠
所有零部件采用国内外知名厂家, 电器元件采用进口或合资企业产品, 设备长期运行可靠稳定.
基本参数：
1. 真空室尺寸：1210mm（直径）×1200mm（高）；
2. 抽气时间速：大气到5×10-3Pa≤20min (空载, 冷态,洁净)；极限真空：优于1×10-3Pa；
3. Zui高烘烤温度:300℃
4. 采用侧面对开门方式,便于工件装卸；
5. 2台φ400mm口径分子泵、1台ZJP300型罗茨泵， 2台2X-70型机械泵抽气；
6. 一套公、自转工转机构，采用下驱动方式的二维平面行星机构；自转轴20根；
7. 四对磁控溅射靶平行安装且成圆周分布，靶材尺寸：910mm×120mm（长×宽）；
8. 4路进口质量流量计进气；
9. 三台30KW中频电源及一台30KW脉冲偏压电源；
10. 控制系统采用触摸屏上位机（工控机）+下位机（PLC）的控制形式，控制系统有手动和自动，全系统具有互保护, 泵阀互锁。
1. 真空室尺寸：1210mm（直径）×1200mm（高）；
2. 抽气时间速：大气到5×10-3Pa≤20min (空载, 冷态,洁净)；极限真空：优于1×10-3Pa；
3. Zui高烘烤温度:300℃
4. 采用侧面对开门方式,便于工件装卸；
5. 2台φ400mm口径分子泵、1台ZJP300型罗茨泵， 2台2X-70型机械泵抽气；
6. 一套公、自转工转机构，采用下驱动方式的二维平面行星机构；自转轴20根；
7. 四对磁控溅射靶平行安装且成圆周分布，靶材尺寸：910mm×120mm（长×宽）；
8. 4路进口质量流量计进气；
9. 三台30KW中频电源及一台30KW脉冲偏压电源；
10. 控制系统采用触摸屏上位机（工控机）+下位机（PLC）的控制形式，控制系统有手动和自动，全系统具有互保护, 泵阀互锁。
镀膜设备：http://www.dlvacuum.com/
真空蒸发镀膜设备：http://www.dlvacuum.com/zfzkdm/
卧式全自动镀膜设备：http://www.dlvacuum.com/wsqzddm/
车灯保护膜镀膜设备：http://www.dlvacuum.com/cdbhdm/
立式自动镀膜机：http://www.dlvacuum.com/lsqzddmsb/
磁控溅射多弧离子复合镀膜设备【厂家信息】
温州市瓯海鼎利真空设备有限公司
地址：温州市娄桥镇东耕吹台西路4至1号
电 话：0577-86298339
传 真：0577-86757708
手机：
邮 @qq.com
网址： http://www.dlvacuum.com/ http://www.ohdl.cn/
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